產(chǎn)業(yè)化的周邊PN結(jié)去除方式是等離子體干法刻蝕,該方法技術(shù)成熟、產(chǎn)量大,但存在過刻、鉆刻及不均勻的現(xiàn)象,不僅影響電池的轉(zhuǎn)換效率,而且導(dǎo)致電池片蹦邊、色差與缺角等不良率上升。激光開槽隔離技術(shù)根據(jù)PN結(jié)深度而在硅片邊緣開一物理隔離槽,但與國外情況相反,據(jù)國內(nèi)使用情況來看電池效率反而不及等離子體刻蝕技術(shù),因此該方法有待進一步研究。
目前行業(yè)出現(xiàn)的另外一種技術(shù)——化學(xué)腐蝕去邊與背面腐蝕拋光技術(shù)集刻蝕與去PSG一體,背面絨面的拋光極大降低了入射光的透射損失、提高電池紅光響應(yīng)。該方法工藝簡單、易于實現(xiàn)inline自動化生產(chǎn),不存在“鉆刻”與刻蝕不均勻現(xiàn)象,工藝相對穩(wěn)定,因此盡管配套設(shè)備昂貴但仍引起業(yè)內(nèi)廣泛關(guān)注。
(責(zé)任編輯:王杰)
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